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北方华创公开“刻蚀方法和半导体工艺设备”相关专利

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天眼查发布的最新数据显示,近期北方华创科技集团股份有限公司成功申请并获得多项专利信息。其中引人注目的一项名为“一种含硅有机介电层的刻蚀方法和半导体工艺设备”的专利,其公开号为CN117174582A。 ...

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